采用真空蒸發鍍膜制作預定成分的合金薄膜的方法,經常采用的是瞬間蒸發法和雙蒸發源蒸鍍法。
鍍膜系統一般由三個部分組成:真空室、蒸發源或蒸發加熱裝置、放置基板及給基板加熱裝置。在真空中為了蒸發待沉積的材料,需要容器來支撐或盛裝蒸發物,同時需要提供蒸-使蒸發物達到足夠高的溫度以產生所需的蒸汽壓。一般應選擇鍍膜材料的溫度到達蒸發溫度時,真空鍍膜加工,蒸發源材料的蒸氣壓低于10-6pa的材料做蒸發源。
真空鍍膜應用是真空應用中的一個大分支,在光學、電子學、理化儀器、包裝、機械以及表面處理技術等眾多方面有著十分廣泛的應用。parylene中文稱:派瑞林、聚對二---,螺絲真空鍍膜,或派拉倫是對一系列---的高聚物的一個通常的稱呼。這個家庭中基本的成員稱作parylene,即聚對二---,玻璃真空鍍膜廠,是一種完全線性的高度結晶結構的材料。真空鍍膜
東莞拉奇納米科技有限公司,是將派瑞林(parylene)高分子材料裂解為納米分子再進行產品表面的真空鍍膜處理。使被鍍物具備以下特性:無細孔、防水、防潮、耐酸堿、抗鹽霧、高抗壓、絕緣、生物兼容性等。
鍍膜技術在傳感器方面的應用
在傳感器中,多采用那些電氣性質相對于物理量、化學量及其變化來說,常平真空鍍膜,---敏感的半導體材料。此外,其中大多數利用的是半導體的表面、界面的性質,需要盡量增大其面積,且能工業化、格制作、因此采用薄膜的情況很多。
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