激光脈沖沉積裝置-沈陽鵬程有限公司-激光脈沖沉積裝置多少錢

脈沖激光沉積的優(yōu)點(diǎn)

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1. 易獲得期望化學(xué)計(jì)量比的多組分薄膜，即具有---的保成分性；

2. 沉積速率高，試驗(yàn)周期短，襯底溫度要求低，激光脈沖沉積裝置多少錢，制備的薄膜均勻；

3. 工藝參數(shù)任意調(diào)節(jié)，對(duì)靶材的種類沒有---；

4. 發(fā)展?jié)摿?--，具有---的兼容性；

5. 便于清潔處理，可以制備多種薄膜材料。

脈沖激光沉積系統(tǒng)的配置介紹

沈陽鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司生產(chǎn)、銷售脈沖激光沉積，我們?yōu)槟�分析該產(chǎn)品的以下信息。

1.靶: 數(shù)量6個(gè)，大小1-2英寸，被激光照射時(shí)可自動(dòng)旋轉(zhuǎn)，靶的選擇可通過步進(jìn)電機(jī)控制;

2.基板:采用適合于氧氣環(huán)境鉑金加熱片，大小2英寸，加熱溫度可達(dá)1200攝氏度，溫度差<3%，加熱時(shí)基板可旋轉(zhuǎn)，工作環(huán)境的壓力可達(dá)300mtorr;

3.基板加熱電源，高到1200度;

4.真空成膜室腔體:不銹鋼sus304材質(zhì)，內(nèi)表面電解拋光，本底真空度<5e-8 pa;

5.樣品搬運(yùn)室:不銹鋼sus304材質(zhì)，內(nèi)表面電解拋光，本底真空度<5e-5 pa;

6.排氣系統(tǒng):分子泵和干式機(jī)械泵;

7.閥門: 采用真空擋板閥;

8.真空檢測:真空計(jì);

9.氣路兩套: 采用氣體流量計(jì)控制;

10.薄膜生長監(jiān)控系統(tǒng): 采用掃描型差分rheed;

11.監(jiān)控系統(tǒng):基板溫度的監(jiān)控和設(shè)定，基板和靶的旋轉(zhuǎn)，靶的更換等;

12.各種電流導(dǎo)入及測溫端子;

13.其它各種構(gòu)造:各種真空位移臺(tái)，激光脈沖沉積裝置，磁力傳輸桿，真空法蘭，真空密封墊圈，真空用波紋管等;