隨著現(xiàn)代科學(xué)和技術(shù)的發(fā)展,薄膜科學(xué)已成為近年來迅速發(fā)展的學(xué)科領(lǐng)域之一,激光脈沖沉積設(shè)備公司,是凝聚態(tài)物理學(xué)和材料科學(xué)的一個重要研究領(lǐng)域。功能薄膜是薄膜研究的主要方面,它不僅具有豐富的物理內(nèi)涵,而且在微電子、光電子、超導(dǎo)材料等領(lǐng)域具有十分廣泛的應(yīng)用。長期以來,人們發(fā)明了多種制膜技術(shù)和方法:真空蒸發(fā)沉積、離子束濺射、磁控濺射沉積、分子束外延、金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積、溶膠- 凝膠法等。上述方法各有特點(diǎn),并在一些領(lǐng)域得到應(yīng)用。但由于其各有局限性,仍然不能滿足薄膜研究的發(fā)展及多種薄膜制備的需要。隨著激光技術(shù)和設(shè)備的發(fā)展,---是高功率脈沖激光技術(shù)的發(fā)展,脈沖激光沉積pld技術(shù)的特點(diǎn)逐漸被人們認(rèn)識和接受
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脈沖激光沉積技術(shù)適合做的薄膜包括各種多元氧化物,激光脈沖沉積設(shè)備,氮化物,---物薄膜,金屬薄膜,磁性材料等。
應(yīng)用領(lǐng)域:
單晶薄膜外延srtio3,laalo3
壓電薄膜pzt,aln,bifeo3,batio3
鐵電薄膜batio3,kh2po4
熱電薄膜srtio3
金屬和化合物薄膜電極ti,ag,au,pt,ni,co,srruo3,lanio3,yzro2,gdceo2,lasrcofeo3
半導(dǎo)體薄膜zn(mg)o,激光脈沖沉積設(shè)備報價,aln,srtio3
高k介質(zhì)薄膜hfo2,ceo2,al2o3,batio3,srtio3,pbzrtio3,laalo3,ta2o5
超導(dǎo)薄膜yba2cuo7-x,bisrcacuo
光波導(dǎo),光學(xué)薄膜pzt,aln,batio3,al2o3,zro2,激光脈沖沉積設(shè)備廠家,tio2
超疏水薄膜ptfe
紅外探測薄膜v2o5,pzt
沈陽鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司——脈沖激光沉積供應(yīng)商,我們?yōu)槟鷰硪韵滦畔ⅰ?/p>
主要用途:
用于制備超導(dǎo)薄膜、半導(dǎo)體薄膜、鐵電薄膜、超硬薄膜等。適用于各大專院校、科研院所進(jìn)行薄膜材料的科研與小批量制備!
系統(tǒng)組成:
主要由濺射真空室、旋轉(zhuǎn)靶臺、基片加熱臺、工作氣路、抽氣系統(tǒng)、安裝機(jī)臺、真空測量及電控系統(tǒng)等部分組成!
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