1、系統(tǒng)自動(dòng)監(jiān)控和保護(hù)功能強(qiáng),包括斷水報(bào)警、相序檢測(cè)與保護(hù)、溫度檢測(cè)與保護(hù)、真空系統(tǒng)檢測(cè)與保護(hù)等。
2、分子篩吸附裝置,避免機(jī)械泵返油造成膜層污染,提高薄膜純凈度。
3、膜厚監(jiān)測(cè)及控制系統(tǒng),可在線監(jiān)測(cè)及控制膜層厚度,激光分子束外延設(shè)備,膜厚儀與基片擋板聯(lián)動(dòng),形成閉環(huán)控制。采用晶振膜厚儀
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真空測(cè)量:采用數(shù)顯復(fù)合真空計(jì)兩只電阻規(guī)測(cè)量低真空,一只電離規(guī)測(cè)量高真空,激光分子束外延設(shè)備, 測(cè)量范圍為1×105pa —1×10-5pa。
斷水報(bào)警、相序檢測(cè)與保護(hù)、溫度檢測(cè)與保護(hù)、真空系統(tǒng)檢測(cè)與保護(hù)。
沈陽鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司生產(chǎn)、銷售電子束,我們?yōu)槟治鲈摦a(chǎn)品的以下信息。
高真空電子束蒸發(fā)鍍膜設(shè)備采用完全封閉的系統(tǒng)框架,激光分子束外延設(shè)備多少錢,結(jié)構(gòu)緊湊,外觀更漂亮,使用更安全。6-10kw e型電子可選國(guó)產(chǎn)或進(jìn)口,可選配離子束清洗及輔助鍍膜功能。該設(shè)備廣泛應(yīng)用于科研院所、高校在片狀、半球狀、異形基底表面制備金屬/化合物ito等氧化物/導(dǎo)電薄膜/光學(xué)薄膜等。
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