真空泵油的主要性能
真空泵油, ---總壓強和的---分壓力
---的總壓力:皮拉尼真空計和熱電偶真空計測量所有材料真空泵(氣)總壓強。目前,測試強調總壓強指數。
---的分壓力:水星壓縮真空計(麥克勞德壓力計)---空氣測量泵壓力,雙旋轉葉片泵壓力應小于6 * 10-5kpa。總壓強之間的區別和---壓力不超過一個數量級。兩者之間的差異越大,真空泵油含有更多的揮發性成分,油的性質就越低。
名 稱: 里其樂真空泵油multi-lube100
品 牌: 德國里其樂
規 格: 5l
適用機型: 里其樂油旋片真空泵
產品描述:里其樂真空泵油100以優良的熱氧化---性,不易生成油泥、漆膜及其他氧化產物,---的防銹、抗腐蝕性能.防止汽缸、排氣閥銹蝕腐蝕;抗乳化性能好,容易與接觸的水分離,---的分水性能.適用于里其樂旋片真空泵。
對于普通的無油真空系統愛發科真空泵油來說,雖然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之類附件來防止返流,但不能徹
愛發科真空泵油的應用是廣泛的,主要有以下幾個方面:
1)低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中;
2)半導體刻蝕工藝。在這些生產工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒;
3)除半導體工藝外的某些產生微粒的工藝,不希望微粒混入泵油中,譜旭vm32真空泵油供應,而希望微粒排出泵外,則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求;
4)在化學工業、醫
5)用做一般無油清潔真空系統的前級泵,以防止油污染。
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