譜旭VM32真空泵油代理-方歐真空科技(商家)

對于普通的無油真空系統愛發科真空泵油來說，雖然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之類附件來防止返流，但不能徹l底解決問題，而且使系統顯得復雜。而使用適當型式的干式機械真空泵，則可以達到理想的使用效果。

　　愛發科真空泵油的應用是廣泛的，主要有以下幾個方面：

　　1)低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中；

　　2)半導體刻蝕工藝。在這些生產工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒；

　　3)除半導體工藝外的某些產生微粒的工藝，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求；

　　4)在化學工業、醫l藥工業、食品工業中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有l機溶劑造成污染，適合用干式真空泵；

　　5)用做一般無油清潔真空系統的前級泵，以防止油污染。