空調制冷截止閥真空箱-檢漏設備規格尺寸

-質譜檢漏儀的基本原理與結構

隨著科技的迅猛發展，-質譜檢儀及其應用技術也在不斷發展和究善。各國的設備廠商相繼推出了多種類烈的-質譜檢涮儀，廣泛應用丁航空航天，電力電子，汽車等各個行業，綜觀較新-質譜檢漏儀的性能特點發現，-質譜檢漏儀正向著高靈敏度、自動化、寬程、等-方向發展，這些特點-地滿足了當前檢漏應用的需求，也-的推動了氮質譜檢漏技術的不斷發展。-質譜檢漏儀的基本原理與結構-質譜檢漏儀一般由質譜管，真空系統和電子系統組成。其中質譜管包括離子源，分析器和離子檢測器; 真空系統一般由分子泵、機械泵、電磁閥和真空計組成。離子源的作用是將原子電離成帶電離子并-成束，以一定能量注入質分析器，

目前常用的電子轟擊型離子源有尼爾型和震蕩型兩種形式。質分析器的作用起將各類離子按其質荷比的不同實現分離。

離子檢測器的作用是手機分析器所選定的-離子流并加以放大，再通過比對運算，得出泄漏率

真空系統的作用是獲取質譜過程所需的真空，同時完成被檢件的抽空和-氣的引入。真空系統一般由分子泵、機械泵、電磁閥和真空計組成組成。按照真空系統的不同結構，檢漏儀分為常規系統和逆擴散兩種。常規系統多用于早期的-質譜檢漏儀，該種檢漏儀的被檢件與高真空部分直接相通，由被檢件泄入的氮氣首先到達質譜管被檢到，因而具有較高的靈敏度，但是會對質譜管有污染。逆擴散系統檢漏儀與常規系統相比，被檢件只與低真空相通，因此只需將被檢工件抽至低真空就能進行檢漏，-氣是逆擴散到質譜管，不會對系統有污染，因此被廣泛采用，已成為市場的主流的產品。

機械泵的工作方式不一樣，分為干泵檢漏儀和油泵檢漏儀，油泵工作會有油霧排出，污染工作環境，干泵沒有油霧排出對工作環境沒有影響。在半導體潔凈車間都是使用干泵檢漏儀。

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-質譜檢漏儀的應用拓展一

例如火箭發動機及姿態發動機，空調制冷截止閥真空箱-檢漏設備，過去是-刷肥皂水檢漏，現在重新改進工藝用-質譜檢漏儀檢漏，采用正壓吸槍與-罩法結合，使檢漏靈敏度大大提高，從而-了發動機。火箭箭體的檢漏采用正壓吸槍、-罩法、累集法等幾種方法的結合。由于檢漏技術的應用，提高了檢漏靈敏度，彌補了吸入法檢漏時儀器靈敏度低的不足。

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檢漏儀的優點

1、多種語言和計量單位選擇，可選中文界面。

2、135o 電離偏轉 (自然-點)的全新質譜技術，金屬密封結構。

3、新的電子線路及信號處理設計。

4、小可檢漏率高、靈敏度覆蓋范圍可達12個量程。

5、快速清-和快速響應。

6、測試口耐壓高，可實現大漏檢漏。

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