油封機械泵不適于抽除含有大量水蒸氣的氣體。水蒸氣在壓縮過程中會凝結成水滴，并與泵油混合形成懸浮液，破壞泵的抽氣性能使泵的真空度下降。一般采取的措施有:使用帶有氣鎮裝置的油封機械泵，集成羅茨泵參數，并將泵的工作溫度控制在75~90℃之間，以減少氣鎮閥負擔在機組中安裝水汽分離器或油水分離裝置，處理混有水的機械泵油，處理過的油再進入泵中使用;用各種干燥吸附劑做成捕集阱吸收水蒸氣;使用各種冷凝器或冷阱，不僅能有效地吸附水蒸氣，羅茨泵參數，同時還可以阻擋機械泵向真空室的返流。
高真空抽氣機組工作在分子流狀態下，與低真空抽氣機組相比，其特點是工作壓力較低(10-1~10-5pa)、排氣量小、抽速大。機組的主泵通常為擴散泵、擴散增壓泵、分子泵、鈦升華泵、低溫冷凝泵善低入等。這些泵不能直接對-工作，羅茨泵參數，因此需要配置粗抽泵和前級泵。有些高真空抽氣機組的擴散泵還配有前級維持泵或貯氣罐，以防止氣體壓力波動，-機組的抽氣性能。
用于較高真空的真空泵(機械增壓泵)不能直排-，如直排-會造成羅茨真空泵吸氣口與排氣口壓差太大，非標羅茨泵參數，從而使羅茨真空泵過載，如單純加大羅茨真空泵電機功率又會造成羅茨真空泵過熱以致羅茨真空泵轉子之間的微小間隙很快因熱膨脹而卡死。為-羅茨真空泵能達到較高真空必須-羅茨真空泵轉子之間的間隙。所以羅茨真空泵使用時必須設有前級泵，用前級泵將系統內壓力抽至一定范圍內時再啟動羅茨真空泵，如此可以避免羅茨真空泵過載。前級泵可以選用水(液)環式真空泵、旋片式真空泵、滑閥式真空泵、往復式真空泵等可直排-的真空泵。
在一般情況下，選用水環泵作為前級泵比其它真空泵更為有利，這主要是由于它能夠抽除大量的可凝性蒸汽，-是當氣鎮油封機械真空泵排除可凝性蒸汽能力不夠，或使用的溶劑能使泵油惡化而影響性能，或者是真空系統不允許油污染的時候更為明顯。
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