同時，人們把另一類氣相沉積，即通過高溫加熱金屬或金屬化合物蒸發(fā)成氣相，或者通過電子、等離子體、光子等荷能粒子的能量把金屬或化合物靶濺射出相應(yīng)的原子、離子、分子(氣態(tài))，在固體表面上沉積成固相膜，其中不涉及到物質(zhì)的化學(xué)反應(yīng)(分解或化合)，稱為物---相沉積pvd)。
隨著氣相沉積技術(shù)的發(fā)展和應(yīng)用，上述兩類型氣相沉積各自都有新的技術(shù)內(nèi)容，鍍膜設(shè)備，兩者相互交叉，你中有我，我中有你，致使難以嚴(yán)格分清是化學(xué)的還是物理的。
pcvd的工藝裝置由沉積室、反應(yīng)物輸送系統(tǒng)、放電電源、真空系統(tǒng)及檢測系統(tǒng)組成。氣源需用氣體凈化器除往水分和其它雜質(zhì)，經(jīng)調(diào)節(jié)裝置得到所需要的流量，再與源物質(zhì)同時被送進(jìn)沉積室，在一定溫度和等離子體等條件下，得到所需的產(chǎn)物，并沉積在工件或基片表面。所以，pcvd工藝既包括等離子體物理過程，鏡片鍍膜設(shè)備，又包括等離子體化學(xué)反應(yīng)過程。
鍍膜機(jī)工藝在裝飾品方面的運(yùn)用跟著經(jīng)濟(jì)的開展和生活水平的進(jìn)步，眼鏡鍍膜設(shè)備，大家喜愛將手表殼、表帶、服飾、燈飾、眼鏡架、室表里裝飾件、五金箱包、手機(jī)殼、手機(jī)視屏、衛(wèi)生潔具、食品包裝等裝飾品精飾得五光十色。
鍍膜技能在飛機(jī)防護(hù)涂層方面的運(yùn)用飛機(jī)的鈦合金緊固件，原來選用電鍍辦法鍍鎘。但在鍍鎘中含有氫，真空鍍膜設(shè)備廠家，所以在飛翔進(jìn)程中，遭到---、海水的腐蝕，鍍層上簡單發(fā)生鎘脆，甚至導(dǎo)致---。1964年，選用離子鍍辦法在鈦合金緊固件上鍍鋁，處理了飛機(jī)零件的鎘脆疑問。在離子鍍技能中，因為給工件施加負(fù)偏壓，能夠構(gòu)成偽分散層、細(xì)化膜層安排，因而能夠---進(jìn)步膜層的耐腐蝕功能。
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