真空箱法-質譜檢漏的充氣回收檢漏系統
1．配置與氣路控制
真空箱：一般為雙工位，兩個不銹鋼真空箱，開門裝置可采用液壓方式，或加配重的手動方式。
工件抽空系統：低真空泵及閥門，低真空測量充氮與回收系統：-氣儲存罐(高壓罐)，-氣回收取罐(低壓罐)，主壓縮機，輔壓縮機，過濾器以及一些高壓閥和真空閥門等。
真空箱抽氣系統：為自動控制型，由面板、plc系統(可編程邏輯控制器)，系統檢漏，充-回收系統，真空箱抽氣系統的電路部分以及為自動檢漏過程提供參考信號的壓力傳感器和熱偶計，同時，實施對整個系統的工作控制，對檢漏過程和結果顯示。
2.系統檢測過程
1)、通過v1、v4，泵系統對工件和真空箱抽真空，如果限定的時間內抽到限定的真空度，此時，電氣控制系統關閉v1，打開v2
2)、充-系統通過v2對工件進行充-至核定的壓力，穩定，關閉v2
3)、關閉v4，打開v3、v5，處在正常工作狀態待命的-質譜檢漏儀進行檢漏，如果不漏，電氣控制系統指揮關斷v3、v5，打開v2對-氣進行回收。
4)、關閉v2打開v6對真空箱放氣，開啟真空箱更換工件。
5)、如果第三點檢漏儀檢測到超過設定值(漏率)的工件，檢漏儀聲光報警，將：工作內的-氣回收，對真空箱和管道巾的-氣通過清潔泵抽除，免得影響檢漏儀的檢測效果和不污染檢漏儀。
6)、維持泵有一定的-分流作用，sf6真空箱系統檢漏，不宜過大(不超過41)，清潔泵也同樣。
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采用背壓法檢漏時，首先將被檢產品置于高壓的-氣室中，浸泡數小時或數天，如果被檢產品表面有漏孔，-氣便通過漏孔壓入被檢產品內部密封腔中，智能系統檢漏，使內部密封腔中-分壓力上升。然后取出被檢產品，將表面的殘余-氣吹除后再將被檢產品放入與檢漏儀相連的真空容器內，被檢產品內部密封腔內的-氣會通過漏孔泄漏到真空容器，再進入-質譜檢漏儀，從而實現被檢產品總漏率測量。檢漏儀給出的漏率值為測量漏率，需要通過換算公式計算出被檢產品的等效標準漏率。
背壓法的優點是檢測靈敏度高，能實現小型密封容器產品的泄漏檢測，可以進行批量化檢測。
背壓法的缺點是不能進行大型密封容器的漏，否則由于密封腔體容積太大，導致加壓時間太長。此外，每個測量漏率都對應兩個等效標準漏率，密封性系統檢漏，在細檢完成后還需要采用其它方法進行粗檢，排除大漏的可能。
背壓法的檢漏主要應用于各種電子元器件產品檢漏。
1新的儀器對空氣和殘余氣體的讀數是零，僅對示蹤氣體有響應。2新的儀器本身也是一個抽速較高的真空系統。3儀表的指示能夠反映出漏孔的大小， 漏量的大小。這三點要求實際上構成了研制新型檢漏儀器的準則。在研制過程中， 對傳統的檢漏方法、光譜儀和皮喇尼規進行了考察。發現在實際運用中都存在著不少的缺點。當時，明尼蘇達州州立大學的尼爾博士正在研制一種可以記錄分子量和原子量大小的質譜儀。經過分析， 雅可比認為如果尼爾博士能夠使儀器簡化， 那么質譜儀將是一種好的選擇性檢漏裝置。當時還論證了新型檢漏裝置的示蹤氣體必須滿足三個要求1系統的殘余氣體的質潛中沒有它的譜線。即便儀器處于-環境，這種氣體在儀器中也幾乎不存在。2能夠在試驗狀態下很容易地把它從系統中抽出， 所用的示蹤氣體不會污染系統。3分子量低、粘度低、購置方便。顯然，-氣是滿足這三個要求的理想的氣體。
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