真空鍍膜設備運用技術已經成為了人們生活中不可或缺的一部分,影響著人民的生活方式,如日常生活中餐具、家居、建材、電子產品、包裝等表面都鍍上了一層膜,即改變了產品的性能,也改變為其美觀度。
隨著社會的進步,真空鍍膜機技術也是日新月異,光學鍍膜技術、卷繞鍍膜技術、裝飾鍍膜技術、磁控鍍膜技術,早已大量的投入到市場運用,來滿足市場目前需求。很多行業以外的人心中都有一個疑惑,就是真空鍍膜機具體是哪些結構組成的呢?下面匯成真空小編為大家整理了這方面的資料,供大家參考和學習。
一、真空室,涂層設備主要有連續涂層生產線及單室涂層機兩種形式,不銹鋼材料制造、弧焊接、表面進行化學拋光處理,真空室組件上焊有各種規格的法蘭接口。
二、真空獲得部分,在真空技術中,真空獲得部分是重要組成部分。真空的獲得不是一種真空設備和方法所能達到的,必須將幾種泵聯合使用,如機械泵、羅茨泵、分子泵系統等。
三、真空測量部分,真空系統的真空測量部分,就是要對真空室內的壓強進行測量。像真空泵一樣,沒有一種真空計能測量整個真空范圍,人們于是按不同的原理和要求制成了許多種類的真空計。如熱偶計,電離計,皮拉尼計等等。
四、電源供給部分,靶電源主要有直流電源、中頻電源、脈沖電源、射頻電源(rf),常見的電源廠商有ae,adl,霍廷格等
蒸鍍必須在一定的真空條件下進行,這是因為:
1、
較高的真空度可以-汽化分子的平均自由程大于蒸發源到基底的距離。由于氣體分子的熱運動,分子之間的碰撞也是極其頻繁的,納米噴鍍,所以盡管氣體分子運動的速度相當的高 ( 可達每秒幾百米 ) ,但是由于它在前進的過程中要與其它分子多次碰撞,小型納米噴鍍設備, 一個分子在兩次連續碰撞之間所走的距離被稱為它的自由程, 而大量分子自由程的統計平均值就被稱為分子的平均自由程。
由于氣體壓強與單位體積的分子數成正比, 因此平均自由程與氣體的壓強亦成正比。在真空淀積薄膜過程中,當淀積距離大于分子的平均自由程時被稱為低真空淀積, 而當淀積距離小于分子的平均自由程時被稱為高真空淀積。在高真空淀積時,納米噴鍍設備,蒸發原子 ( 或分子 ) 與殘余氣體分子間的碰撞可以忽略不計,因此汽化原子是沿直線飛向基片的,這樣保持較大動能到達基片的汽化原子即可以在基片上凝結成較牢固的膜層。在低真空淀積時,由于碰撞的結果會使汽化原子的速度和方向都發生變化,甚至可能在空間生成蒸汽原子集合體—其道理與水蒸汽在-中生成霧相似。
2、
在較高的真空度下可以減少殘余氣體的污染在真空度不太高的情況下, 真空室內含有眾多的殘余氣體分子( 氧、氮、水及碳氫化合物等 ) ,它們能給薄膜的鍍制帶來-的危害。它們與汽化的膜料分子碰撞使平均自由程變短;它們與正在成膜的表面碰撞并與之反應; 它們隱藏在已形成的薄膜中
磁控濺射鍍膜機
中頻磁控鍍膜機
屏蔽膜電鍍設備
中頻濺射鍍膜機
磁控真空鍍膜機
真空蒸鍍:
其原理是在真空條件下,用蒸發器加熱膜料,使其氣化或升華,納米噴鍍技術,蒸發粒子流直接射向基片,并在基片上沉積形成固態薄膜的技術。蒸發同時也分電子束蒸發和電阻蒸發、感應蒸發等。
濺射鍍膜:
是真空條件下,在陰極接上高壓電,激發輝光放電,帶正電的離子撞擊陰極靶材,使其射出膜料粒子,并沉積到基片上形成膜層。
離子鍍膜:
離子鍍膜通常指在鍍膜過程中會產生大量離子的鍍膜方法。在膜的形成過程中,基片始終受到高能粒子的轟擊,膜層強度和結合力非常強。離子鍍膜鍍制高精密的膜層時,可以加過濾掉大顆粒的離子,這樣能達到高結構,高致密性的膜層。
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