干泵;國外干泵市場的不斷增長，其主要驅(qū)動來自于半導(dǎo)體行業(yè)、化學(xué)工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展。在日本，半導(dǎo)體行業(yè)已全部用干式真空泵代替油封式機械泵，歐美半導(dǎo)體行業(yè)45%以上用干式真空泵代替了油封式機械泵，-提高了產(chǎn)品的性能和。為了滿足不同應(yīng)用領(lǐng)域和不同工況的要求，國外有多級羅茨真空泵、多級爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復(fù)式活塞真空泵以及渦輪式無油真空泵等。-壓力從10pa～10-2pa，抽速從20m3/h～500m3/h。
真空系統(tǒng)常用名稱主泵：在真空系統(tǒng)中，用于獲得所需要真空度來滿足特定工藝要求的真空泵，如真空鍍膜機中的油擴散泵就是主泵。前級泵：用于維持某一真空泵前級壓強低于其臨界前級壓強的真空泵。如羅茨泵前配置的旋片或滑閥泵就是前級泵。粗抽泵：從-壓下開始抽氣，并將系統(tǒng)壓力抽到另一真空泵開始工作的真空泵。如真空鍍膜機中的滑閥泵，就是粗油泵。
真空泵按其工作原理，基本-為氣體輸送泵和氣體捕集泵兩種類型。氣體輸送泵包括：1、液環(huán)真空泵(水環(huán)式真空泵)2、往復(fù)式真空泵3、旋片式真空泵4、定片式真空泵5、滑閥式真空泵6、余擺線真空泵7、干式真空泵8、羅茨真空泵9、分子真空泵10、牽引分子泵11、復(fù)合式真空泵12、水噴射真空泵13、氣體噴射泵14、蒸汽噴射泵15、擴散泵等。氣體捕集泵包括：吸附泵和低溫泵等。工業(yè)中應(yīng)用多的是水環(huán)式真空泵和旋片式真空泵等。
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