愛德華真空泵配件-明勝機電(在線咨詢)-愛德華真空泵

愛德華真空泵軸承的檢修標準

   愛德華真空泵相對其他單級選片式真空泵具有更高的精度，同時結構相對來講比較復雜，所以我們在愛德華真空泵維修時需要制作精度較高的工具來對泵浦進行拆卸、安裝，下面就其軸承的檢修與裝配跟大家交流下。

   拆卸軸承應使用工具，安裝時不得用錘直接敲擊軸承，需敲擊時必須墊以軟金屬。

   裝配軸承時，應先檢查軸承、配合尺寸偏差等是否符合要求。

   軸承內圈端面應與軸肩靠緊

   軸承采用加熱安裝時，加熱可采用油浴，油溫不超過100-120度，愛德華真空泵，軸承油浴時間10-15min，嚴禁用火焰直接加熱軸承。

化學氣相沉淀化學氣相沉淀 (cvd) 系統具有 多種配置用于沉積多種類型的薄膜。制程 還以不同的壓力和流量狀態運行，其中的許多狀態 都使用含氟的干燥清潔制程。所有這些可變因素意味著您 需要咨詢我們的應用---之一來選擇適當的泵 和氣體減排系統以便大程度地延長我們產品的維修間隔并 延長您制程的正常運行時間。

干泵選擇

cvd 制程通常需要通過選擇適當的 干泵產品來克服四個特定挑戰。這些挑戰是：

粉末

許多制程會產生 大量粉末副產品。需要將真空泵設計成 能夠處理這些粉末而不被卡住。在某些情況下，粉末實際上可能 很粘或需要高溫運行才能---粉末中夾帶的其他 副產品不在泵內部冷凝并卡住泵機構。 對于幾乎所有產生粉末的制程，您將不得不使用 采用高扭矩電機的泵，以---泵在應力下保持 旋轉。

冷凝

半導體 制程的某些副產品含有氣體，當氣體分壓 增加或與冷表面接觸時，這些氣體會從氣 相變為固相。在泵送這些副產品時， 您將需要非常熱的泵，是從入口到出口 具有盡可能一致的溫度分布的泵。

腐蝕

有些制程 需要泵送鹵化物。尤其是需要含氟的清潔制程來 保持艙室的清潔性，但被激的氟自由基 可能會侵蝕泵的內表面。如果制程主要使用 可能對泵造成腐蝕的化學品，愛德華干式真空泵gxs，您需要---可以 將泵溫度設置為一個較低值以降低腐蝕風險。我們的泵設計 具有可選的溫度設和高旋轉 速度以降低腐蝕風險并降低泵中不可避免 發生的總體材料損失速率。對于某些 cvd 制程，愛德華真空泵維修，需要在溫度設上 達到平衡，以---避免任何冷凝問題， 同時不使腐蝕速度過高。