螺桿式真空泵的結(jié)構(gòu) 螺桿式真空泵一般是雙螺桿結(jié)構(gòu)。螺桿式真空泵是通過一對非對稱螺桿轉(zhuǎn)子,在泵腔中作同步、高速反向運(yùn)轉(zhuǎn),羅茨真空泵,周期性改變齒間容積而產(chǎn)生的吸氣和排氣作用的抽氣設(shè)備。
螺桿式真空泵在結(jié)構(gòu)上比較簡單。形式上,螺桿式真空泵有臥式和立式之分;依據(jù)螺桿轉(zhuǎn)子型線的不同又可分為單頭螺桿式真空泵與多頭螺桿式真空泵;單頭螺桿式真空泵根據(jù)轉(zhuǎn)子螺距的不同,可分為等螺距螺桿式真空泵與變螺距螺桿式真空泵,變螺距中又可細(xì)分為一段式、兩段式、三段式等。
干式螺桿真空泵是干式泵家族中的一員。所謂干式真空泵,在泵的抽氣流道中,不能使用任何油類和液體,排氣口與---相通,能直接連續(xù)向---中排氣的泵。干式真空泵在抽氣流道內(nèi)無任何液態(tài)工作介質(zhì)或密封介質(zhì),從---上解決了油封式真空泵引發(fā)的各種問題。羅茨真空泵干式螺桿真空泵由于其---的性能,羅茨真空泵電話,在歐美和日本目前已經(jīng)成為微電子、半導(dǎo)體、制藥、精密加工等行業(yè)真空獲得設(shè)備。日本是應(yīng)用螺桿真空泵非常多的,半導(dǎo)體和lcd 行業(yè)應(yīng)用廣泛,河南羅茨真空泵,大晃株式會(huì)社的吉村將士等很早就在單頭等螺桿轉(zhuǎn)子方面申請了,在轉(zhuǎn)子上做了深入的研究,日立公司早期也做過螺桿泵方面的研究。
3、罩殼的水冷卻
螺桿真空泵罩殼選用兩層壁厚空心構(gòu)造,稱之為水冷 卻套,其里邊內(nèi)嵌冷凍液,是關(guān)鍵熱管散熱安全通道
水冷散熱是普遍的方式 :螺桿真空泵的水冷 卻套中通冷 卻循環(huán)水,能夠超過水冷卻罩殼從而水冷卻電機(jī)轉(zhuǎn)子的目地。另外能夠在電機(jī)轉(zhuǎn)子內(nèi)部通冷卻水,提升電機(jī)轉(zhuǎn)子使用壽命,達(dá)到水冷卻效果
螺桿真空泵由于電機(jī)轉(zhuǎn)子在工作中全程中無潤滑脂參加,羅茨真空泵報(bào)價(jià),無法通過潤滑脂帶去工作中時(shí)造成的-量。由于無內(nèi)縮小全過程,排氣管溫度高,若水冷卻實(shí)際效果不好,會(huì)導(dǎo)致螺桿真空泵電機(jī)轉(zhuǎn)子和外殼形變,危害抽真空的實(shí)際效果。羅茨真空泵
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