濟南創譜儀器有限公司為您提供探針測試臺探針座探針調整平移臺iv測試探針夾具探針架探針座。產品信息:
在實際得科研生產中,由于樣品/晶圓wafer得尺寸越來越大,用于測試的探針臺相當昂貴,我司根據客戶市場應用自主研發的這款結構小巧,功能實用,成本較低的簡易式探針臺,在滿足基本測試功能基礎上,去除了不需要得部件,該探針臺系統包含:光學成像部分,隔振平臺,探針座,四維調整載片臺chuck,真空吸附系統;
創譜儀器可以根據客戶應用搭建探針臺,以達到較好得使用效果
技術參數:
◆樣品臺xyzr四維調節,xy行程根據樣品臺尺寸/晶圓尺寸而定,z軸行程10mm,xyz整體分辨率3μm,360°旋轉粗調可鎖緊
◆兼容多種光學顯微鏡,可以引入光路,完成光電mapping測試
◆整體尺寸小,方便攜帶,底部隔振地腳,提高測試穩定性
◆漏電流精度:10pa/100fa屏蔽箱內
◆探針采用交叉滾珠導軌/精密燕尾槽,線性移動,無回程差設計
◆1微米以上電極/pad使用
◆u型探針架,可以放置多個探針座
◆多被用于晶圓測試、led測試、功率器件測試、mems測試、pcb測試、液晶面板測試、太陽能電池片測試、材料表面電阻率測試等;廣泛用于科研院校以及公司!
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