蘇州深鉑維溫控設備有限公司為您提供rtdwafer熱電阻晶圓測試儀。thermoway rtd wafer 需要精度溫度測量的程所 設計，例如半導體光阻處理系統、晶圓探測器和多其他型的半制造設備。 透過研隊心整合設計來高量測精度和結果穩定性， wafer 上的 rtd 感器，黏合及封裝材料，四式電阻測量方式是關鍵的集成元件。
features 工作溫度范圍：-80°c to 300°c 溫度點位：1to 160 points 提供校正服務 提供應用軟體及分析系統
applications 測量和制程周期的晶圓溫度：裝載、升溫、穩定態、冷卻和卸載。 提升對溫度的控制及 致性。 管理具有嚴格熱性能規格的生產流程或為 spc 系統提供據。 在硬體或制程研發期化晶圓工藝。 在終鑒定、晶圓以及修或升級系統的重新定程中對晶圓廠設進行和基準
specifications
temperature range:-80°c to 300°c
wafer size:6”8”，12”
element type: thin film platinum
element resistance:100ω, 1000 ω nominal at 0°c
resistance alpha value:0.00385
max. measurement current:200 a
accuracy with calibration correction:0.1°c absolute accuracy,±0.03°c sensor to sensor accuracy also available in customized high accuracy ±0.05
resolution:0.01°
type of connection:3-wire/4-wire resistance measurement with common current source return
lead materials: polyimide coated copper
cable construction: polyimide film flat cable section transitioning to a silicon rubber round flex cable.
connection: d-type, high density, sub-miniature with 68 pins.
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