蘇州深鉑維溫控設備有限公司為您提供tc wafer .。蘇州深鉑維溫控設備有限公司為您提供tcwafer。臺灣菘啟工業有限公司設計和制造溫度測量解決方案,為您提供靈敏度、快速響應和一致的精度。臺灣菘啟工業有限工公司致力于以的技術服務及時提供其---的wafer晶圓解決方案。
tc wafer則是直接鑲嵌于晶圓表面的溫度傳感器,可以實現晶圓表面溫度的實時測量。借助于放置在晶圓表面特定位置之溫度傳感器,可獲得這些特定位置的真實溫度測量值以及整天晶圓溫度分布;同時,也可利用此傳感器來持續監控在熱處理工程中晶圓暫態溫度變化,例如:升溫,降溫過程及---周期等!溫度的均勻與否,良率
溫度范圍:
低溫:-150 to 700°c硅基膠粘劑
高度:-150 to 1,200°c焊接設計
熱電偶選型:
● type k (精度級別±1.1°c/0.4%) ,溫度范圍 -270 to 1,372°c
● type n (精度級別±1.1°c/0.4%), 溫度范圍 -270 to 1,300°c
● type e (精度級別±1.0°c/0.4%) ,溫度范圍 -270 to 1,000°c
● type t (精度級別±0.5°c/0.4%) ,溫度范圍 -270 to 400°c
● type r/s (精度級別±1.5°c/0.25%) ,溫度范圍 -50 to 1,768°c
晶圓材質:
硅、altic、玻璃、陶瓷、碳化硅和其他客戶提供的白板的、涂層的或圖案基底。可按客戶要求定制基板、形狀和尺寸。
主要規格:
4寸,6寸,8寸,12寸
擴展線:可絕緣層材質,接頭類型。密封的聚酰扁平電纜,可在---中打到10-7托。長度有客戶
傳感器引線:長達40英尺–可定制,
被覆材質:石英 陶瓷纖維 tef
絕緣材料:石英,聚四氟乙烯,二氧化硅,陶瓷,聚酰
線規:20 awg – 40 awg
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