任氏巨源微波化學氣相沉積爐

唐山任氏巨源微波儀器有限公司為您提供任氏巨源微波化學氣相沉積爐。一、任氏巨源微波化學氣相沉積爐特點：
1. 高溫微波化學氣相沉積爐，采用純微波加熱、~傳統電加熱或混合加熱方式，可加熱包括金屬在內的非易燃易爆材料，
2. 升溫速率快，智能控溫，可分段設置，控溫穩定度好，熱慣性小。同時加熱多個溫區，且加熱區長度可調。
3. 可通各種氣氛，抽真空有機械泵、擴散泵和分子泵，可達10-3pa真空狀態。
4、爐體采用不銹鋼密封法蘭鉸鏈結構，耐高溫、耐腐蝕；
5、保護管采用耐高溫合金管 ，氣管采用卡套或vcr接口，安裝方便；
6、爐體配有自動冷卻風扇，降低溫度；
7、真空系統：機械泵 擴散泵和分子泵，真空密度計
8、可通過電腦全程監控和調試；
二、任氏巨源微波化學氣相沉積爐產品參數：
型號/model wbmw-qxcj4
可加熱材料 非易燃易爆的任何材料
微波頻率 2.45ghz±50mhz
加熱方式 純微波加熱、~傳統電加熱、混合加熱
微波功率/kw 4 (功率可調)
溫度測試元件 微波場---傳感器
控溫精度/℃ ±2微波場---傳感器
加熱管材質 石英管 高溫合金管 剛玉管
加熱溫度/℃ 1200 1200 1600
管徑(外徑/內經x長度)/mm 45/ 35×1200，可選配外徑 60
加熱速度 ≦200 升溫速率不限 ≦50
恒溫區長度 標配恒溫區長度100mm，恒溫去長度100mm以上可定制
溫區 可多溫區同時加熱
氣路法蘭 304不銹鋼法蘭
流量控制 美國alicat流量&控制器、七星華創流量&控制器 氣柜、氣路及各類閥門，可配套計算機自動控制系統及軟件
氣路數量 2路或3路
流量范圍 0-1slm(標準升/分，可選配氮氣標定
精度 ±0.2%f.s
響應時間 ≤1sec
工作壓力 進氣壓力0.05-0.35mpa(表壓力，流量規格≤10slm
系統連接方式 采用kf快速連接波紋管、高真空手動擋板閥及數顯真空測量儀
系統真空范圍 標準---壓～10-3pa
真空泵 簡單機械泵抽真空和不銹鋼法蘭
10-1pa真空機械泵及真空計
10-2pa真空機械泵、擴散泵及真空計
10-3pa真空機械泵、分子泵及真空計
爐腔尺寸/mm 700x350x530
加熱腔(標配) 0.5-3l 2個
加熱腔大小 0.94l，2.12l，3.8l
升溫速率(標配) 0～1000℃/min可根據實際任意設定，可編程、分段加熱
外型尺寸/mm 15007501560
微波泄漏/ mw/cm2 ≤0.4
提供相關配件 防護手套×1、中文說明書×1
保質期 整機免費保修1年

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