超薄晶圓支持系統-支持極薄化晶圓的鍵合

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超薄晶圓支持系統的特點：
4”-8”/8”-12”晶圓適用，支持極薄化晶圓的鍵合。
可選真空熱壓/uv/激光等鍵合方式
鍵合機智能測繪料籃內晶圓，兼容晶圓料籃、晶圓盒裝卸料。
鍵合機支撐晶圓、產品晶圓進行自動對準
超薄晶圓支持系統可自動完成晶圓鍵合wafer bonding)工藝。
可選配晶圓鍵合后的在線檢測功能
工控機+windows系統
secs/gem 或簡易聯網能力
超薄晶圓支持系統規格：
貼片機 wafer bonding系列
鍵合晶圓尺寸 4”-8”/8”-12”
支持體基板 玻璃
鍵合裝置：真空熱壓/uv/激光 定制
粘貼裝置 搭載
晶圓盒形式 兼容晶圓料籃、晶圓盒裝卸料
其他 secs/gem 或簡易聯網能力
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超薄晶圓臨時鍵合/wafer bonding/wafer debonding/wafer bonder/wafer debonder/晶圓鍵合
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