AHL9000直線電機(jī)平臺(tái)

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1專為晶片檢測(cè)，平板顯示加工和光學(xué)檢測(cè)及制造應(yīng)用設(shè)計(jì)
2掃描軸是空氣軸承，步進(jìn)軸是機(jī)械軸承
3行程達(dá)1.2米x1.2米
4雙直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)步進(jìn)軸
5直線編碼器或激光干涉儀反饋
行程≤350mm
精度±1.0um
重復(fù)定位精度±0.20um
直線度±0.60um
平面度±0.60um
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