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氣體傳感器種類sno2薄膜氣敏器件因具有-的穩定性、能在較低的溫度下工作、檢驗氣體種類多、工藝成熟等優點,是目前的主 品。此外,fe2o3也是目前廣泛應用和研究的材料。除了傳統的sno、sno2和fe2o3三大類外,目前又研究開發了一批新型材料,包括單一金屬氧化物材料、復合金屬氧化物材料以及混合金屬氧化物材料。這些新型材料的研究和開發,大大提高了氣體傳感器的特性和應用范圍。
氣體傳感器描述按計算,在sno2中加入3~5%的tho2,5%的sm2.在600℃的h2氣氛中燒結,制成厚膜器件,工作溫度為400℃。則可作為co檢測器件。上圖右圖是燒結溫度為600℃時氣敏器件的特性。可看出,工作溫度在170~200℃范圍內,對h2的靈敏度曲線呈拋物線,而對co改變工作溫度則影響不大,因此,利用器件這一特性可以檢測h2。而燒結溫度為400℃制成的器件,工作溫度為200℃時,對h2、co的靈敏度曲線形狀都近似呈直線,但對co的靈敏度要高得多,可以制成對co敏感的氣體傳感器。
氣體傳感器定做氣敏二極管的特性曲線左移可以看作二極管導通電壓發生改變,這一特性如果發生在場效應管的柵極,將使場效應管的閾值電壓ut改變。利用這一原理可以制成mosfet型氣敏器件。氫氣敏mosfet是一種典型的氣敏器件,它用金屬鈀(pd)制成鈀柵。在含有氫氣的氣氛中,由于鈀的催化作用,氫氣分子分解成氫原子擴散到鈀與二氧化硅的界面,終導致mosfet的閾值電壓ut發生變化。使用時常將柵漏短接,可以-mosfet工作在飽和區,此時的漏極電流id=β(ugs—ut)2,利用這一電路可以測出氫氣的濃度。
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